TESCOM 12 Series là bộ điều chỉnh giảm áp IGS/VCR® có độ tinh khiết cực cao thu nhỏ. TESCOM 12 Series cung cấp lớp hoàn thiện 5Ra hoặc 10Ra microinch, màng ngăn buộc và thiết kế không lò xo và không ren bên trong. Với áp suất đầu vào 150 psig / 10,3 bar, áp suất đầu ra từ 250 mm Hg-15, 30, 60, 100 psig / 250 mm Hg-1.0, 2.1, 4.1, 6.9 bar tốc độ dòng chảy lên đến 120 SLPM. Lý tưởng để sử dụng trong các công cụ OEM, hộp gas và tủ gas áp suất thấp.
Tính năng:
- Sản phẩm được lựa chọn cho các hệ thống khí OEM hiện đại
- Kiểm soát áp suất siêu nhạy nâng cao hiệu suất MFC
- Hiệu suất vượt trội trong nhiều ứng dụng
- Lưu lượng từ 2 SCFM đến 120 SLPM
- Màng ngăn từ kim loại đến kim loại cho vòng đệm thân máy để đảm bảo tính toàn vẹn khi rò rỉ cao
- Bề mặt bên trong 10Ra hoặc 5Ra microinch
- Đáp ứng thông số kỹ thuật module SEMI F19 và SEMI
VN